EUV లితోగ్రఫీ యంత్రాలు ఈ తీవ్ర అతినీలలోహిత కాంతిని నిజానికి ఎలా సృష్టిస్తాయి?

EUV లితోగ్రఫీ యంత్రాలు ప్రతి సెకనుకు పదివేల చిన్న ద్రవీభవించిన టిన్ చుక్కలపై శక్తివంతమైన లేజర్‌ను ప్రయోగించి, ప్రతి చుక్కను ఒక ప్లాస్మాగా మార్చి, అవసరమైన 13.5-నానోమీటర్ల తరంగదైర్ఘ్యంలో కాంతిని విడుదల చేయించడం ద్వారా ఎక్స్‌ట్రీమ్ అల్ట్రావయలెట్ కాంతిని ఉత్పత్తి చేస్తాయి, ఈ కాంతి అంత తక్కువ దైర్ఘ్యం ఉన్న దానిని ఏ లెన్స్ కూడా ప్రసారం చేయలేదు కాబట్టి అత్యంత ఖచ్చితమైన అద్దాల శ్రేణి ద్వారా ప్రతిబింబింపజేయబడుతుంది.

టంగ్‌స్టన్ ఫిలమెంట్‌ను వేడి చేయడం పాత తరం బల్బు మాదిరిగా సాధారణ విజిబుల్ లేదా ఇన్‌ఫ్రారెడ్ కాంతిని ఉత్పత్తి చేస్తుంది, అవసరమైన ఎక్స్‌ట్రీమ్ అల్ట్రావయలెట్ శ్రేణికి అస్సలు దగ్గరగా లేదు. చల్లబరచిన నియాన్ వాయువు గుండా కరెంటు పంపడం నియాన్ సైన్‌బోర్డులు వెలగడానికి వాడే పద్ధతి, నానోమీటర్-స్థాయి చిప్ లక్షణాలను ముద్రించడానికి తగనటువంటి పూర్తిగా భిన్నమైన, చాలా పొడవైన తరంగదైర్ఘ్యం కాంతి.

ఈ కాంతి-ఉత్పత్తి ప్రక్రియను రూపొందించడం చాలా కష్టం కాబట్టి, ప్రపంచంలో నెదర్లాండ్స్‌కు చెందిన ASML అనే ఒక్క కంపెనీ మాత్రమే దీనికి తగిన యంత్రాలను నిర్మించగలిగింది, దీనివల్ల EUV లితోగ్రఫీ మొత్తం తయారీ రంగంలోనే అత్యంత ప్రత్యేకమైన, అత్యంత ఖరీదైన టెక్నాలజీలలో ఒకటిగా మారింది.