EUV litografi makineleri bu aşırı moröte ışığı gerçekte nasıl üretir?

EUV litografi makineleri, aşırı morötesi ışıklarını, saniyede on binlerce erimiş kalay damlacığını güçlü bir lazerle vurarak üretir; her damlacık bir plazmaya dönüşerek gerekli 13,5 nanometre dalga boyunda ışık yayar, bu ışık da hiçbir merceğin bu kadar kısa dalga boyunu iletemediği için son derece hassas bir dizi aynayla yansıtılır.

Bir tungsten filamentini ısıtmak, eski bir akkor ampul gibi sıradan görünür veya kızılötesi ışık üretir, gereken aşırı morötesi aralığına yaklaşmaz. Soğutulmuş neon gazından akım geçirmek ise neon tabelaların parlamasını sağlayan yöntemdir; nanometre ölçeğinde çip özellikleri basmaya uygun olmayan, tamamen farklı ve çok daha uzun bir dalga boyudur.

Bu ışık üretim süreci mühendislik açısından o kadar zordur ki dünyada yalnızca tek bir şirket, Hollanda'nın ASML'i, buna muktedir makineler inşa edebilmiştir; bu da EUV litografiyi tüm üretim dünyasının en özel ve en pahalı teknolojilerinden biri hâline getirir.