EUV লিথোগ্রাফি যন্ত্র আসলে কীভাবে এই চরম অতিবেগুনি আলো তৈরি করে?

ইইউভি লিথোগ্রাফি যন্ত্র তাদের চরম অতিবেগুনি আলো তৈরি করে প্রতি সেকেন্ডে হাজার হাজার ক্ষুদ্র গলিত টিন-বিন্দুতে শক্তিশালী লেজার আঘাত করে, প্রতিটি বিন্দুকে প্লাজমায় রূপান্তরিত করে যা প্রয়োজনীয় ১৩.৫-ন্যানোমিটার তরঙ্গদৈর্ঘ্যে আলো নির্গত করে, যা তারপর একগুচ্ছ অতি-নিখুঁত আয়নার মাধ্যমে প্রতিফলিত হয়, কারণ এত কম তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আলো কোনো লেন্স দিয়ে যেতে পারে না।

টাংস্টেন ফিলামেন্ট উত্তপ্ত করলে সাধারণ দৃশ্যমান বা ইনফ্রারেড আলো তৈরি হয়, পুরনো আলোর বাল্বের মতো, যা প্রয়োজনীয় চরম অতিবেগুনি পরিসরের ধারেকাছেও নয়। ঠাণ্ডা নিয়ন গ্যাসের ভেতর দিয়ে বিদ্যুৎ প্রবাহিত করার মাধ্যমে নিয়ন সাইনবোর্ড জ্বলে, যা সম্পূর্ণ আলাদা ও অনেক দীর্ঘ তরঙ্গদৈর্ঘ্যের আলো, ন্যানোমিটার-স্কেলের চিপ বৈশিষ্ট্য মুদ্রণের জন্য অনুপযুক্ত।

এই আলো তৈরির প্রক্রিয়া প্রকৌশলগতভাবে এত কঠিন বলে, বিশ্বে মাত্র একটি কোম্পানি, নেদারল্যান্ডসের এএসএমএল, এই যন্ত্র তৈরি করতে সক্ষম হয়েছে, যা ইইউভি লিথোগ্রাফিকে সমগ্র উৎপাদন খাতের সবচেয়ে একচেটিয়া ও ব্যয়বহুল প্রযুক্তিগুলোর একটি করে তুলেছে।