Bagaimana mesin litografi EUV sebenarnya menghasilkan cahaya ultraviolet ekstrem ini?

Mesin litografi EUV menghasilkan cahaya ultraviolet ekstrem itu dengan menembakkan puluhan ribu tetesan timah cair yang sangat kecil per detik dengan laser bertenaga besar, mengubah setiap tetesan menjadi plasma yang memancarkan cahaya pada panjang gelombang 13,5 nanometer yang dibutuhkan, yang kemudian dipantulkan lewat serangkaian cermin ultra-presisi karena tidak ada lensa yang bisa meneruskan cahaya sependek itu.

Memanaskan filamen tungsten menghasilkan cahaya tampak atau inframerah biasa, seperti bohlam pijar lama, sama sekali jauh dari rentang ultraviolet ekstrem yang dibutuhkan. Mengalirkan arus melalui gas neon yang didinginkan adalah cara lampu neon menyala, panjang gelombang cahaya yang sepenuhnya berbeda dan jauh lebih panjang, tidak cocok untuk mencetak fitur chip berskala nanometer.

Karena proses menghasilkan cahaya ini begitu sulit direkayasa, hanya satu perusahaan di dunia, ASML asal Belanda, yang berhasil membangun mesin yang mampu melakukannya, menjadikan litografi EUV salah satu teknologi paling eksklusif dan paling mahal dalam seluruh dunia manufaktur.