EUV लिथोग्राफी यंत्रे हा अतितीव्र अतिनील प्रकाश प्रत्यक्षात कसा तयार करतात?

EUV लिथोग्राफी यंत्रे आपला अतिनील प्रकाश तयार करण्यासाठी दर सेकंदाला हजारो सूक्ष्म वितळलेल्या कथिलाच्या थेंबांवर शक्तिशाली लेझर सोडतात, प्रत्येक थेंबाचे रूपांतर प्लाझ्मामध्ये करून तो आवश्यक 13.5-नॅनोमीटर तरंगलांबीचा प्रकाश उत्सर्जित करतो, जो नंतर अतिशय अचूक आरशांच्या मालिकेतून परावर्तित केला जातो — कारण इतक्या लहान तरंगलांबीचा प्रकाश कोणतीही भिंग पार करू शकत नाही.

टंगस्टन फिलामेंट तापवल्याने साध्या दृश्य किंवा इन्फ्रारेड प्रकाशाचे उत्पादन होते, जुन्या इनकँडेसंट बल्बप्रमाणे, जे अतिनील प्रकाशाच्या आवश्यक श्रेणीच्या जवळपासही नाही. थंड निऑन वायूतून विद्युतप्रवाह पाठवल्याने निऑन चिन्हे चमकतात, ही पूर्णपणे वेगळी व खूपच जास्त तरंगलांबीची प्रकाश-निर्मिती पद्धत आहे जी नॅनोमीटर-स्तरावरील चिप वैशिष्ट्ये छापण्यासाठी अयोग्य आहे.

हा प्रकाश-निर्मिती प्रक्रिया अभियांत्रिकीदृष्ट्या इतकी कठीण आहे की जगात फक्त एकाच कंपनीला — नेदरलँड्सच्या ASML ला — ती साध्य करणारी यंत्रे बनवता आली आहेत, ज्यामुळे EUV लिथोग्राफी संपूर्ण उत्पादन क्षेत्रातील सर्वात विशेष व महागड्या तंत्रज्ञानांपैकी एक ठरते.