Bagaimanakah mesin litografi EUV sebenarnya menghasilkan cahaya ultraungu melampau ini?

Mesin litografi EUV menghasilkan cahaya ultraungu ekstrimnya dengan menembak puluhan ribu titisan timah cair yang amat kecil setiap saat menggunakan laser berkuasa tinggi, mengubah setiap titisan menjadi plasma yang memancarkan cahaya pada panjang gelombang 13.5 nanometer yang diperlukan, yang kemudian dipantulkan oleh satu siri cermin ultra tepat kerana tiada kanta yang boleh menyalurkan cahaya sesingkat itu.

Memanaskan filamen tungsten menghasilkan cahaya nampak atau inframerah biasa, seperti mentol pijar lama, jauh daripada julat ultraungu ekstrim yang diperlukan. Mengalirkan arus melalui gas neon yang disejukkan ialah cara papan tanda neon bercahaya, panjang gelombang cahaya yang sama sekali berbeza dan jauh lebih panjang yang tidak sesuai untuk mencetak ciri cip berskala nanometer.

Kerana proses penghasilan cahaya ini begitu sukar direka, hanya satu syarikat di dunia, ASML dari Belanda, berjaya membina mesin yang mampu melakukannya, menjadikan litografi EUV salah satu teknologi paling eksklusif dan mahal dalam keseluruhan sektor pembuatan.