Paano talaga gumagawa ng ganitong extreme ultraviolet na liwanag ang mga EUV lithography machine?

Ang mga makina ng EUV lithography ay gumagawa ng kanilang extreme ultraviolet na liwanag sa pamamagitan ng pagpaputok ng laser sa sampu-sampung libong maliliit na patak ng natunaw na lata bawat segundo, na binabago ang bawat patak tungo sa isang plasma na naglalabas ng liwanag sa kinakailangang 13.5-nanometer na wavelength, na pagkatapos ay isinasalamin ng serye ng napaka-eksaktong salamin dahil walang lente na kayang magpadaan ng ganito kaikling liwanag.

Ang pagpapainit ng isang tungsten filament ay gumagawa ng ordinaryong visible o infrared na liwanag, tulad ng isang lumang incandescent bulb, malayong-malayo sa extreme ultraviolet na saklaw na kailangan. Ang pagpapadaloy ng koryente sa pinalamig na neon gas ay ang paraan kung paano kumikinang ang mga neon sign, isang ganap na naiibang at mas mahabang wavelength ng liwanag na hindi angkop para sa pag-print ng mga nanometer-scale na tampok ng chip.

Dahil napakahirap i-engineer ng prosesong ito ng paggawa ng liwanag, isang kumpanya lamang sa buong mundo, ang ASML ng Netherlands, ang nakagawa ng makina na kayang gawin ito, na ginagawang isa sa pinaka-eksklusibo at pinakamahal na teknolohiya sa buong manufacturing ang EUV lithography.